匀胶机是在旋转的基片上，滴注胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。

选购巧

从其原理来说，可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

旋转速度

转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。匀胶机只能提供转速范围，并不能标定实时的转速。

真空吸附系统的构

真空泵定要无油的，压力标定准确，油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况。

材质的选择

对于半导体化行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。

旋转涂覆术

旋转涂覆术所使用的设备是匀胶机。又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是样的，即在速旋转的基片上，滴注胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

从其原理来说，匀胶机有以下两个特点。

(1)旋转速度

转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。

(2)真空吸附系统

真空泵般采用无油泵，即通常说的干泵，因为何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况，还会让滴的胶液不慎入真空管道系统成*堵塞。有的匀胶机通过联动机制，当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎入真空管道系统。